CHInano 2020 第十一屆中國(guó)國(guó)際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)于2020年10月28~30日在蘇州國(guó)際博覽中心舉辦。共設(shè)有14場(chǎng)論壇和兩萬(wàn)平米展區(qū)。覆蓋MEMS及微納制造、納米新材料、傳感器元件、第三代半導(dǎo)體、半導(dǎo)體制造設(shè)備、納米技術(shù)應(yīng)用等領(lǐng)域。

經(jīng)過(guò)10年的發(fā)展，納博會(huì)匯聚了來(lái)自世界各地的產(chǎn)業(yè)界領(lǐng)袖，著名學(xué)者及政府、企業(yè)代表，分享最新科技成果、前沿信息、發(fā)展趨勢(shì)，同時(shí)也積極促進(jìn)產(chǎn)品推廣，資本合作和技術(shù)交流與對(duì)接。

愛(ài)發(fā)科在納博會(huì)

納博會(huì)的品牌論壇“中國(guó)MEMS制造大會(huì)”作為國(guó)內(nèi)唯一聚焦MEMS制造領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)會(huì)議，匯聚國(guó)內(nèi)外MEMS代工廠，獲得業(yè)內(nèi)一致好評(píng)。

在本次的“第二屆中國(guó)MEMS制造大會(huì)”上株式會(huì)社愛(ài)發(fā)科執(zhí)行董事鄒弘綱先生發(fā)表了題為“用于物聯(lián)網(wǎng)和AR/VR應(yīng)用的壓電材料薄膜加工技術(shù)”的視頻演講，愛(ài)發(fā)科（蘇州）技術(shù)研究開(kāi)發(fā)有限公司研究員岳磊現(xiàn)場(chǎng)答疑。

愛(ài)發(fā)科商貿(mào)在CHInano 2020 的第二天舉辦了“ULVAC MEMS Seminar”。

愛(ài)發(fā)科（蘇州）技術(shù)研究開(kāi)發(fā)有限公司研究員岳磊做了題為“ULVAC’s Piezo Thin-Film Fabrication Technology for the Realization of IoT/AI Applications”的報(bào)告。多位MEMS產(chǎn)業(yè)界的企業(yè)高層人士參會(huì)，交流對(duì)產(chǎn)業(yè)和壓電MEMS技術(shù)的看法。

本次的報(bào)告對(duì)壓電MEMS的技術(shù)趨勢(shì)、市場(chǎng)等大背景進(jìn)行了闡述說(shuō)明。結(jié)合ULVAC的技術(shù)特點(diǎn)、相關(guān)案例以及不同材料的特點(diǎn)比對(duì)，說(shuō)明了在物聯(lián)網(wǎng)以及人工智能時(shí)代的大環(huán)境下，采用了壓電薄膜的Piezo-MEMS所具備的先天優(yōu)勢(shì)。

針對(duì)PZT材料的自身特點(diǎn)，總結(jié)了廣泛采用的塊體陶瓷技術(shù)以及新興的薄膜技術(shù)各自的特點(diǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域。最后對(duì)ULVAC領(lǐng)先的PZT成套制備解決方案做了詳細(xì)的技術(shù)介紹。

ULVAC在鐵電材料領(lǐng)域開(kāi)發(fā)已有二十年以上技術(shù)積累，在PZT壓電薄膜制造技術(shù)已經(jīng)迭代至5.0時(shí)代，擁有世界最優(yōu)級(jí)別的壓電性能（e31>15c/m2），介電擊穿達(dá)到400v以上（@2μm），經(jīng)時(shí)介電擊穿tddb達(dá)到2*10^13h（@40v 85℃）。

ULVAC的PZT技術(shù)不僅具備世界最領(lǐng)先的薄膜特性，其工藝溫度考慮到與CMOS集成時(shí)的熱預(yù)算，最低可在430-450℃附近實(shí)現(xiàn)PZT結(jié)晶。

在量產(chǎn)方面也比競(jìng)爭(zhēng)技術(shù)具備更多優(yōu)勢(shì)。其成本相比另一主流技術(shù)，降低約28%，薄膜沉積速率可達(dá)約4μm/h。

成熟的薄膜制造技術(shù)以及配套的靶材供應(yīng)，刻蝕、去膠等工藝段的設(shè)備及技術(shù)支持，能夠?yàn)榭蛻舯M可能提供完善，成熟領(lǐng)先的解決方案。